




實驗室供氣系統(tǒng)氣體管路
實驗室供氣管路系統(tǒng)工程主要是為試實驗室選用的分析設備提供量值和壓力穩(wěn)定的標準氣體,保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實驗中免受有毒有害氣體的侵害。按照國標要求,將所用全部氣體存放于儲氣間,并實現(xiàn)集中輸送,組成中央供氣系統(tǒng)。系統(tǒng)采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式,在一拖多時能夠實現(xiàn)分段控制和在多拖一和多拖多時能夠實現(xiàn)切換控制;并能夠保證標準氣體流量、壓力穩(wěn)定和量值傳遞不發(fā)生變化,滿足分析檢測設備對使用氣體的技術要求。易1燃易1爆氣體:此類氣體只要形成了可燃氣體爆1炸混合氣和達到著火溫度。
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氦質譜檢漏儀
真空檢漏的方法很多,氦質譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統(tǒng)或容器中;
漏率(漏氣速率):是指單位時間內通過漏孔或間隙流入到真空系統(tǒng)或容器的氣體量;
1小可檢漏率:是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率;
檢漏靈敏度:也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在1佳工作狀態(tài)下能檢出的1小漏率;
反應時間:也稱響應時間,是指從檢漏方法開始實施(如噴射示漏氣體)到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時所需要的時間;
消除時間:是指從檢漏方法停止(如停止噴吹示漏氣體)到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間;
漏孔堵塞現(xiàn)象:指由于真空檢漏作業(yè)操作不當導致塵埃或液體堵塞漏孔,檢漏時似乎不漏氣,但一經排氣就會出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。
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實驗室氣體管道設計要求
了解實驗室設計的都知道:實驗室的任何的設計都是有規(guī)格要求的,出了這個要求的范圍那么實驗室的設計就有漏洞,就不合格,就容易發(fā)生事故。實驗室的氣體的排放是非常重要的,如果說實驗室氣體管道設計不合理,工作人員就容易出事,甚至嚴重的就會有生命危險。氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應輕裝輕卸,嚴禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。
高純氣體的輸送管路系統(tǒng)
隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大,要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高,對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格,需要達到ppb、ppt級,塵埃粒徑求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。以上是由艾明坷科技有限公司發(fā)表內容,如有需要,歡迎新老客戶蒞臨。
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